Zprávy průmyslu

Elektrostatické sklíčivo (ESC), známé také jako elektrostatické sklíčivo (ESC, E-Chuck), je příslušenství, které používá princip elektrostatické adsorpce k držení a fixaci adsorbovaného materiálu. Je vhodný pro vakuové a plazmatické prostředí.

Sic nosiče destiček, jako klíčové spotřební materiály v polovodičovém řetězci třetí generace, jejich technické vlastnosti přímo ovlivňují výnos růstu epitaxiálního a výroby zařízení. S rostoucí poptávkou po vysoce napěťových a vysokoteplotních zařízeních v průmyslových odvětvích, jako jsou základní stanice 5G a nová energetická vozidla, nyní výzkum a použití nosičů SIC oplatky nyní čelí významným rozvojovým příležitostem.

Ceramika oxidu alumina je „pracovním koňkou“ pro výrobní keramické komponenty. Vykazují vynikající mechanické vlastnosti, ultra vysoké body tání a tvrdost, odolnost proti korozi, silnou chemickou stabilitu, vysokou odolnost a vynikající elektrickou izolaci. Obvykle se používají k výrobě lešticích desek, vakuových sklíčinek, keramických ramen a podobných částí.