Křemenná loď je klíčovou součástí nesoucí zátěž používanou ve výrobním procesu polovodiče. Používá se hlavně pro vysokoteplotní zpracování destiček, jako je difúze, oxidace a žíhání. Díky jeho vynikající tepelné stabilitě, charakteristice s nízkým znečištěním a odolností proti korozi z něj činí nepostradatelný materiál v polovodičovém průmyslu. Tento článek se bude zabývat materiálem, fyzikálními vlastnostmi, klasifikací, aplikačními scénáři křemenné lodi a jeho rozdíly od PECVD grafitové lodi.
Hlavním materiálem jádra grafitové lodi PECVD je izotropní grafitový materiál s vysokou čistotou (čistota je obvykle ≥ 99,999%), který má vynikající elektrickou vodivost, tepelnou vodivost a hustotu. Ve srovnání s běžnými grafitovými loděmi mají grafitové lodě PECVD mnoho výhod fyzických a chemických vlastností a používají se hlavně v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu, zejména v procesech PECVD a CVD.
Grafity MOCVD hrají důležitou roli v epitaxiálním procesu. Tento článek provádí podrobnou analýzu výběru gradů MOCVD z perspektiv materiálových vlastností a scénářů aplikací.
Grafitové materiály mají širokou škálu aplikačních scénářů. Mezi nimi jsou izotropní grafit a silikonizovaný grafit dva hlavní typy grafitových materiálů a jejich vlastnosti, aplikační scénáře a výhody se výrazně liší. Tento blog provede srovnávací analýzu ze tří aspektů: strukturální charakteristiky, scénáře aplikací a výhody produktu.
Keramika křemíkového karbidu, běžně známá jako Sic keramika, je všestranným materiálem s jedinečnými vlastnostmi a širokou škálou aplikací v různých průmyslových odvětvích. Následuje podrobná diskuse o jeho složení materiálu, fyzikálních vlastnostech, specifických aplikacích a výhodách v procesech povlaku polovodičů a běžných problémech, s nimiž se během zpracování vyskytuje.
Tento blog bere „Jak porézní grafit zvyšuje růst krystalů karbidu křemíku?“ Jako své téma a podrobně pojednává o porézních grafitových klíčích s sebou, roli křemíkového karbidu v polovodičové technologii, jedinečné vlastnosti porézního grafitu, jak porézní grafitu optimalizuje proces PVT, inovace v porézních grafitových materiálech a jiných úhlech.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy