Zaostření pro leptání

Monokrystalické prsteny na leptání křemíku jsou nezbytnými součástmi v polovodičových leptacích procesech udržováním stability plazmatického prostředí, ochranou zařízení a oplatky, optimalizací využití zdrojů a přizpůsobení se pokročilým požadavkům na proces. Jeho výkon přímo ovlivňuje výnos a náklady na výrobu čipů.

Lepovaný zaostřovací kroužek, elektroda atd. (Ovládač teploty okraje) jsou jádrem spotřebního materiálu, který zajistí plazmatickou uniformitu, kontrolu teploty a opakovatelnost procesu. Tyto komponenty jsou přesně sestaveny ve vakuové komoře CVD, leptacího a filmového vybavení a přímo určují přesnost a výnos leptání od okraje do středu oplatky.

V reakci na přísnou poptávku po materiálových vlastnostech ve špičkových výrobních procesech se veteksemi inovuje pomocí vysoce čistého monokrystalického křemíku s odporem 10-20Ω · cm pro výrobu zaostřovacích prstenů a podpory spotřebního materiálu. Prostřednictvím kolaborativní optimalizace vědy o materiálech, elektrickém designu a termodynamice je veteksemi schopna vyrábět zaostřovací kroužky a podporovat spotřební materiál. Komplexně překonává tradiční řešení křemenných kmenů k dosažení průlomového zlepšení v dlouhověkosti, přesnosti a nákladové efektivitě.

Srovnání materiálu základního materiálu a optimalizace odporu

Monokrystalický křemík Vs. Křemen

Core Core Advantage

1. Přesnost procesu atomové úrovně

Optimalizace odporu + ultra-přesné leštění (RA <0,1 μm) eliminuje mikroboritu a kontaminaci částic, aby se splňovaly standardy Semi F47.

Dielektrická ztráta (tanA <0,001) je vysoce sladěna s dielektrickým prostředím oplatky, zabrání zkreslení elektrického pole okraje a podporuje 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° svislé leptání hlubokého otvoru.

2. Inteligentní kompatibilita systému

Integrován modulem ovládání teploty ETC ETC, tok chladicího vzduchu je dynamicky upraven termočlánkem a algoritmem AI pro kompenzaci tepelného driftu komory.

Podpora přizpůsobená RF odpovídající síť, vhodná pro mainstreamové stroje, jako jsou AMAT CENTURA, LAM Research Kiyo a ICP/CCP plazmatické zdroje.

3. Komplexní efektivita nákladů

Život monokrystalického křemíku je o 275% delší než u křemene, cyklus údržby je více než 3 000 hodin a komplexní náklady na vlastnictví (TCO) jsou sníženy o 30%.

Služba přizpůsobení gradientu odporu (5-100Ω · CM), přesně odpovídající okně zákaznického procesu (například GAN/SIC široké pásmo mezery Materiály Materiály).

Účinek odporu

Obchodní podmínky produktu

Minimální množství objednávky	1 set
Cena	Kontakt pro přizpůsobenou nabídku
Podrobnosti o balení	Standardní exportní balíček
Dodací lhůta	Dodací doba: 30-35 dní po potvrzení objednávky
Platební podmínky	T/t
Schopnost dodávky	600 sad/měsíc