Keramické elektrostatické sklíčidlo z nitridu hliníku (AlN).

1.Výhody

• Vysoce čistá keramika AlN s tepelnou vodivostí až ~180 W/m·K pro účinný přenos tepla a rovnoměrnost teploty

• Silná elektrická izolace a vysoký objemový odpor podporující stabilní upnutí při 1–3 kV (k dispozici jsou vyšší napětí)

• Vlastní materiály dielektrické vrstvy a uspořádání elektrod: Coulomb nebo Johnsen–Rahbek (JR); jedno nebo vícezónové

• Rychlé upínání a odepínání, obvykle pod 0,1 sekundy

• Mikrostruktury s důlky na povrchu až do průměru ~300 μm, což snižuje kontaktní plochu až na ~1%

• Schopnost vysoké rovinnosti; typická globální rovinnost v řádu 0,5–3 μm PV pro platformy třídy 300 mm

• Hustá mikrostruktura s téměř nulovou absorpcí vody a dobrou chemickou odolností pro procesní prostředí

2.Typické aplikace

Keramická elektrostatická sklíčidla z nitridu hliníku se používají v procesních krocích, které vyžadují jak bezpečné držení plátku, tak řízené tepelné chování:

• Suché plazmové leptání (ICP / RIE) a související komorové procesy

• CVD, PEALD, termální ALD a další stupně nanášení tenkých vrstev

• Moduly pro žíhání a tepelné procesy vyžadující jednotnou teplotu plátku

• Inspekce, metrologie a přesné stupně, kde jsou kritické nízké částice a stabilní upnutí

3.AlN třídy materiálů – typické vlastnosti

VeTek nabízí několik druhů nitridu hliníku pro vyvážení tepelné vodivosti, mechanické pevnosti a nákladů pro konstrukce ESC:

Jednotky: Tepelná vodivost ve W/(m·K); dielektrická pevnost v kV/mm; objemový odpor v Ω·cm (25 °C); dielektrická konstanta při 1 MHz. Hodnoty jsou typické a mohou se lišit podle procesu a geometrie součásti.

4.Typické parametry návrhu ESC

5.Proč Chooviz elektrostatická sklíčidla VeTek AlN?

VeTek Semiconductor integruje pokročilou keramiku AlN s přesnou ESC výrobou pro zákazníky z oblasti polovodičů, kteří potřebují jak tepelný výkon, tak spolehlivé upínání:

• Více druhů AlN s tepelnou vodivostí od ~90 do ~180 W/m·K, aby odpovídaly procesním tepelným rozpočtům

• Flexibilní konstrukce elektrody a dielektrika pro upínání Coulomb nebo JR

• Přísná kontrola rovinnosti, mikrostruktury povrchu a elektrické izolace

• Plná podpora životního cyklu: návrh, nová konstrukce a víceúrovňová renovace

Pro leptací, nanášecí a tepelné nástroje, které závisí na rovnoměrné teplotě plátku a čistém, opakovatelném upínání, poskytují keramická elektrostatická sklíčidla VeTek Aluminium Nitride vysoce výkonnou keramickou platformu podporovanou technickou podporou zaměřenou na aplikace.