SiC Keramické vakuové sklíčidlo na destičky

Keramické vakuové sklíčidlo Veteksemicon sic pro wafer je základní komponenta vyvinutá speciálně pro výrobu polovodičů třetí generace, optimalizovaná pro vysokoteplotní a vysokotlaká zpracovatelská prostředí, kterým jsou wafery vystaveny. Vyrobeno z vysoce čistých keramických materiálů, přesné obrábění a specializovaná povrchová úprava zajišťují stabilní výkon ve vakuu a vynikající tepelnou stabilitu v náročném procesu výroby polovodičů. Naše vakuová upínače byla ověřena stovkami výrobců polovodičů a prokázala vynikající výkon v kritických procesech, jako je SiC epitaxe, iontová implantace a fotolitografie. Účinně řeší problémy s deformací plátků a přesností polohování způsobené vysokou tvrdostí materiálu a vysokými procesními teplotami.

Obecné informace o produktu

Obchodní podmínky produktu

Aplikace: Keramické vakuové sklíčidlo Veteksemicon pro destičky je vyrobeno z vysoce výkonných keramických materiálů a přesně opracováno, aby zajistilo ultra plochý povrch a vynikající tepelnou stabilitu. Poskytuje spolehlivou adsorpci plátků a řešení pro řízení teploty pro procesy, jako je epitaxní růst, iontová implantace a fotolitografie, účinně zlepšuje výtěžnost procesu a efektivitu výroby.

Služby, které lze poskytnout: analýza scénářů zákaznických aplikací, přizpůsobení materiálů, řešení technických problémů.

Profil společnosti：Veteksemicon má 2 laboratoře, tým odborníků s 20letými zkušenostmi s materiálem, s výzkumnými a vývojovými a výrobními, testovacími a ověřovacími schopnostmi.

Keramické vakuové sklíčidlo Veteksemicon pro výhody jádra plátku

 ● Průlom ve vědě o materiálech

Můj rival využívá jedinečné složení materiálu a proces slinování k výraznému zvýšení mechanické pevnosti a tepelné stability svých výrobků při zachování vynikajících izolačních vlastností keramických materiálů. Naše keramika na bázi oxidu hlinitého využívá vysoce čisté suroviny a speciální složení aditiv, které zajišťují vynikající rozměrovou stabilitu i v prostředí s vysokou teplotou. Naše keramika na bázi karbidu křemíku díky optimalizovanému procesu slinování dosahuje vyšší tepelné vodivosti a lepšího tepelného přizpůsobení, díky čemuž je zvláště vhodná pro vysokoteplotní zpracování SiC plátků.

 ● Vynikající výkon tepelného managementu

Naše unikátní vícevrstvá konstrukce a přesné obrábění zajišťují, že si sklíčidlo zachovává vynikající tepelnou rovnoměrnost i za provozních podmínek při vysokých teplotách. Sklíčidlo z karbidu křemíku se může pochlubit tepelnou vodivostí přesahující 200 W/m·K, což umožňuje rychlé vyrovnávání teploty a udržování kolísání povrchové teploty plátku v rozmezí ±0,8 °C. Tato vynikající schopnost tepelného managementu účinně zabraňuje procesním defektům způsobeným kolísáním teploty a výrazně zlepšuje výtěžnost produktu.

● Ultra-přesná technologie obrábění

Můj rival se může pochlubit předními přesnými obráběcími centry v Číně, která využívají jedinečné procesy broušení a leštění k dosažení submikronové rovinnosti povrchu. Naše sklíčidla z karbidu křemíku dosahují rovinnosti povrchu do 0,8 μm, přičemž hodnota drsnosti povrchu Ra není větší než 0,1 μm. Tato mimořádně přesná kvalita povrchu zajišťuje dokonalé uchycení mezi destičkou a sklíčidlem a poskytuje spolehlivou plochou referenci pro přesné procesy, jako je fotolitografie.

● Zlepšená životnost

Díky optimalizovanému složení materiálů a zesílené konstrukci mají naše produkty životnost přesahující 40 % ve srovnání s tradičními produkty. Speciální technologie zesílení hran a povrchové úpravy umožňují našim výrobkům odolat častému upínání a čištění. U produktů na bázi oxidu hlinitého je zaručeno, že budou fungovat více než 200 000krát, zatímco produkty na bázi karbidu křemíku mohou dosáhnout více než 500 000 cyklů, což našim zákazníkům výrazně snižuje provozní náklady.

● Schválení ověření ekologického řetězce

Keramické vakuové sklíčidlo Veteksemicon pro ekologické ověření řetězu wafer pokrývá suroviny pro výrobu, prošlo mezinárodní certifikací standardů a má řadu patentovaných technologií, které zajišťují jeho spolehlivost a udržitelnost v oblasti polovodičů a nových energetických polí.

Chcete-li získat podrobné technické specifikace, bílé knihy nebo opatření pro testování vzorků, prosímkontaktujte náš tým technické podporyprozkoumat, jak může Veteksemicon zvýšit efektivitu vašeho procesu.