Oxidace a difúzní pec

Oxidační a difúzní pece se používají v různých oborech, jako jsou polovodičová zařízení, diskrétní zařízení, optoelektronická zařízení, napájecí elektronická zařízení, solární články a rozsáhlé integrované výroby obvodů. Využívají se pro procesy včetně difúze, oxidace, žíhání, letiní a slinování oplatků.

Vetek Semiconductor je předním výrobcem specializujícím se na výrobu vysoce čistých grafitových, křemíkových karbidů a křemenných složek v oxidačních a difúzních pecích. Zavázali jsme se poskytovat vysoce kvalitní komponenty pece pro polovodičový a fotovoltaický průmysl a jsme v popředí technologie povrchových povlaků, jako je CVD-SIC, CVD-TAC, pyrokarbon atd.

Výhody komponent karbidu karbidu veteku polovodiče:

● Odolnost proti vysoké teplotě (až 1600 ℃)

● Vynikající tepelná vodivost a tepelná stabilita

● Dobrá odolnost proti chemické korozi

● Nízký koeficient tepelné roztažnosti

● Vysoká síla a tvrdost

● Dlouhá životnost

V oxidačních a difúzních pecích, díky přítomnosti vysokých teplot a korozivních plynů, mnoho složek vyžaduje použití vysokoteplotních a korozních materiálů, z nichž křemíkový karbid (SIC) je běžně používanou volbou. Následující jsou běžné komponenty karbidu křemíku nalezených v oxidačních pecích a difúzních pecích:

● Rafer loď

Loď o destičce karbidu křemíku je nádoba používaná k přepravě křemíkových destiček, která vydrží vysoké teploty a nebude reagovat s křemíkovými oplatky.

● Trubka pece

Trubka pece je jádro složkou difúzní pece, která se používá k umístění křemíkových oplatků a kontrolu reakčního prostředí. Trubky z křemíkové karbidové pece mají vynikající výkon s vysokou teplotou a odolností proti korozi.

● BAFFLE PLATE

Slouží k regulaci proudění vzduchu a teploty uvnitř pece

● Trubka ochrany termočlánků

Používá se k ochraně měření teploty termočlánků před přímým kontaktem s korozivními plyny.

● Pádlo konzoly

Pádlové pádla křemíku karbidu jsou odolné vůči vysoké teplotě a korozi a používají se k přepravě křemíkových člunů nebo křemenných člunů nesoucích destičky křemíku do trubek difúzní pece.

● Plynový injektor

Používá se k zavedení reakčního plynu do pece, musí být odolný vůči vysoké teplotě a korozi.

● Nosič lodí

Nosič destičky křemíku karbidu se používá k opravě a podpoře křemíkových destiček, které mají výhody, jako je vysoká pevnost, odolnost proti korozi a dobrá strukturální stabilita.

● Dveře pece

Na vnitřní straně dveří pece mohou být také použity nátěry nebo komponenty karbidu křemíku.

● Vytápěč

Prvky topných prvků karbidu křemíku jsou vhodné pro vysoké teploty, vysokou energii a mohou rychle zvýšit teploty na více než 1000 ℃.

● SIC LINER

Používá se k ochraně vnitřní stěny trubek pece a může pomoci snížit ztrátu tepelné energie a vydržet tvrdá prostředí, jako je vysoká teplota a vysoký tlak.

View as

Keramický člun z karbidu křemíku

Vetek Semiconductor se specializuje na poskytování vysoce kvalitních lodí oplatků, podstavců a vlastních nosičů oplatků ve svislém/sloupci a horizontální konfigurace tak, aby splňovaly různé požadavky na polovodičové procesy. Jako přední výrobce a dodavatel filmů potahování karbidu křemíku je naše keramická destička z křemíkového karbidu upřednostňována evropskými a americkými trhy pro jejich vysokou efektivitu a vynikající kvalitu a je široce používán v pokročilých procesech výroby polovodičů. Vetek Semiconductor se zavazuje navádět dlouhodobé a stabilní kooperativní vztahy s globálními zákazníky, a zejména doufá, že se stane vaším spolehlivým partnerem polovodiče v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Pádlo konzoly křemíku (sic)

Úlohou kanálu křemíkového karbidu (SIC) v polovodičovém průmyslu je podpora a transporty. Ve vysokoteplotních procesech, jako je difúze a oxidace, může sic konzolové pádlo stabilně nést lodě a oplatky bez deformace nebo poškození v důsledku vysoké teploty, což zajišťuje hladký pokrok v procesu. Pro zlepšení konzistence a výnosu zpracování oplatky je rozhodující pro zlepšení konzistence a výnosu zpracování oplatky. Vetek Semiconductor používá pokročilou technologii k vytváření pádlování sic konzoly s vysoce čistým křemíkovým karbidem, aby se zajistilo, že oplatky nebudou kontaminovány. Vetek Semiconductor se těší na dlouhodobou spolupráci s vámi na konzolových pádlových výrobcích Silicon Carbide (SIC).

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Křemenný kelímek

VeTek Semiconductor je předním dodavatelem a výrobcem křemenných kelímků v Číně. námi vyráběné křemenné kelímky se používají hlavně v oblasti polovodičů a fotovoltaiky. Mají vlastnosti čistoty a vysoké teplotní odolnosti. A náš křemenný kelímek pro podporu polovodičů ve výrobních procesech tažení křemíkové tyče, nakládání a vyjímání polysilikonových surovin v procesu výroby polovodičových křemíkových plátků a jsou klíčovými spotřebními materiály pro výrobu křemíkových plátků. VeTek Semiconductor se těší, že se stane vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Nosič oplatky na křemík

Jako profesionální dodavatel nosiče destiček křemíkového karbidu v Číně je vetek Semiconductor Sic Wafer nosič, který se používá speciálně používaný pro manipulaci a zpracování polovodičových oplatků, který hraje nenahraditelnou roli v procesu polovodiče. Vítejte na vaší další konzultaci.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Silikonový podstavec

Silikonový podstavec Vetek Semiconductor je klíčovou složkou v procesech difúze a oxidace polovodiče. Jako specializovaná platforma pro přepravu křemíkových člunů ve vysokoteplotních pecích má silikonový podstavec mnoho jedinečných výhod, včetně zlepšené teplotní uniformity, optimalizované kvality oplatky a zvýšeného výkonu polovodičových zařízení. Pro více informací o produktu, neváhejte a kontaktujte nás.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Sic keramický pečeť

Jako rozsáhlou továrnu a dodavatel produktů SiC keramické těsnění v Číně má vetek polovodič sic keramický těsnicí kroužek v průmyslovém poli širokou škálu aplikací kvůli své vynikající tepelné vodivosti, vynikající chemické a koroziové odolnosti a vysoké pevnosti a tuhosti. Vítejte své další dotazy.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Jako profesionál Oxidace a difúzní pec výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Oxidace a difúzní pec vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Oxidace a difúzní pec

Výhody komponent karbidu karbidu veteku polovodiče:

Keramický člun z karbidu křemíku

Pádlo konzoly křemíku (sic)

Křemenný kelímek

Nosič oplatky na křemík

Silikonový podstavec

Sic keramický pečeť

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa