Oxidace a difúzní pec

Oxidační a difúzní pece se používají v různých oborech, jako jsou polovodičová zařízení, diskrétní zařízení, optoelektronická zařízení, napájecí elektronická zařízení, solární články a rozsáhlé integrované výroby obvodů. Využívají se pro procesy včetně difúze, oxidace, žíhání, letiní a slinování oplatků.

Vetek Semiconductor je předním výrobcem specializujícím se na výrobu vysoce čistých grafitových, křemíkových karbidů a křemenných složek v oxidačních a difúzních pecích. Zavázali jsme se poskytovat vysoce kvalitní komponenty pece pro polovodičový a fotovoltaický průmysl a jsme v popředí technologie povrchových povlaků, jako je CVD-SIC, CVD-TAC, pyrokarbon atd.

Výhody komponent karbidu karbidu veteku polovodiče:

● Odolnost proti vysoké teplotě (až 1600 ℃)

● Vynikající tepelná vodivost a tepelná stabilita

● Dobrá odolnost proti chemické korozi

● Nízký koeficient tepelné roztažnosti

● Vysoká síla a tvrdost

● Dlouhá životnost

V oxidačních a difúzních pecích, díky přítomnosti vysokých teplot a korozivních plynů, mnoho složek vyžaduje použití vysokoteplotních a korozních materiálů, z nichž křemíkový karbid (SIC) je běžně používanou volbou. Následující jsou běžné komponenty karbidu křemíku nalezených v oxidačních pecích a difúzních pecích:

● Rafer loď

Loď o destičce karbidu křemíku je nádoba používaná k přepravě křemíkových destiček, která vydrží vysoké teploty a nebude reagovat s křemíkovými oplatky.

● Trubka pece

Trubka pece je jádro složkou difúzní pece, která se používá k umístění křemíkových oplatků a kontrolu reakčního prostředí. Trubky z křemíkové karbidové pece mají vynikající výkon s vysokou teplotou a odolností proti korozi.

● BAFFLE PLATE

Slouží k regulaci proudění vzduchu a teploty uvnitř pece

● Trubka ochrany termočlánků

Používá se k ochraně měření teploty termočlánků před přímým kontaktem s korozivními plyny.

● Pádlo konzoly

Pádlové pádla křemíku karbidu jsou odolné vůči vysoké teplotě a korozi a používají se k přepravě křemíkových člunů nebo křemenných člunů nesoucích destičky křemíku do trubek difúzní pece.

● Plynový injektor

Používá se k zavedení reakčního plynu do pece, musí být odolný vůči vysoké teplotě a korozi.

● Nosič lodí

Nosič destičky křemíku karbidu se používá k opravě a podpoře křemíkových destiček, které mají výhody, jako je vysoká pevnost, odolnost proti korozi a dobrá strukturální stabilita.

● Dveře pece

Na vnitřní straně dveří pece mohou být také použity nátěry nebo komponenty karbidu křemíku.

● Vytápěč

Prvky topných prvků karbidu křemíku jsou vhodné pro vysoké teploty, vysokou energii a mohou rychle zvýšit teploty na více než 1000 ℃.

● SIC LINER

Používá se k ochraně vnitřní stěny trubek pece a může pomoci snížit ztrátu tepelné energie a vydržet tvrdá prostředí, jako je vysoká teplota a vysoký tlak.

View as

Vysoce čistý nosič destičky karbidu křemíku

Vetetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer nosič jsou důležitými součástmi ve zpracování polovodičů, které jsou navrženy tak, aby bezpečně držely a přepravovaly jemné křemíkové oplatky, a hrají klíčovou roli ve všech fázích výroby. Vysoký nosič oplatky ve Vetneku Semiconductor je pečlivě navržen a vyroben, aby byl zajištěn vynikající výkon a spolehlivost. Vetek Semiconductor se zavazuje poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny a těšíme se, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Destička z karbidu křemíku

Vysoko-čistotní křemíkový karbid destička vetek Semiconductor je vyrobena z extrémně čistého materiálu karbidu křemíku s vynikající tepelnou stabilitou, mechanickou pevností a chemickou odolností. Loď o destičce křemíkového karbidu silikonu se používá v aplikacích s horkou zónou ve výrobě polovodičů, zejména v prostředí s vysokou teplotou, a hraje důležitou roli při ochraně oplatků, přepravu materiálů a udržování stabilních procesů. Vetnek Semiconductor bude i nadále tvrdě pracovat na inovování a zlepšení výkonu lodi s vysoce čistým karbidem karbidovým karbidem, aby vyhovoval vyvíjejícím se potřebám výroby polovodičů. Těšíme se, až se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Ukázat více >> Odeslat dotaz >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Jako profesionál Oxidace a difúzní pec výrobce a dodavatel v Číně máme vlastní továrnu. Ať už potřebujete přizpůsobené služby pro uspokojení specifických potřeb vašeho regionu nebo chcete koupit pokročilé a odolné Oxidace a difúzní pec vyrobené v Číně, můžete nám nechat zprávu.

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailem
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, zhejiang provincie, Čína

Webové menu

Vyhledávání produktů

Jazyk

Ukončit nabídku

Oxidace a difúzní pec

Výhody komponent karbidu karbidu veteku polovodiče:

Vysoce čistý nosič destičky karbidu křemíku

Destička z karbidu křemíku

Odeslat dotaz

QR kód

O nás

produkty

Kontaktujte nás

Telefon

Fax

E-mailem

Adresa