Oxidační a difúzní pec

Oxidační a difúzní pece se používají v různých oblastech, jako jsou polovodičová zařízení, diskrétní zařízení, optoelektronická zařízení, výkonová elektronická zařízení, solární články a výroba integrovaných obvodů ve velkém měřítku. Používají se pro procesy zahrnující difúzi, oxidaci, žíhání, legování a slinování plátků.

VeTek Semiconductor je přední výrobce specializující se na výrobu vysoce čistých grafitových, karbidových a křemenných komponentů v oxidačních a difúzních pecích. Zavázali jsme se poskytovat vysoce kvalitní komponenty pecí pro polovodičový a fotovoltaický průmysl a jsme v popředí technologie povrchových nátěrů, jako je CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon atd.

Výhody součástek z karbidu křemíku VeTek Semiconductor:

Vysoká teplotní odolnost (až 1600 ℃)

Vynikající tepelná vodivost a tepelná stabilita

Dobrá chemická odolnost proti korozi

Nízký koeficient tepelné roztažnosti

Vysoká pevnost a tvrdost

Dlouhá životnost

V oxidačních a difuzních pecích kvůli přítomnosti vysokoteplotních a korozivních plynů mnoho komponent vyžaduje použití materiálů odolných vůči vysoké teplotě a korozi, mezi nimiž je běžně používaný karbid křemíku (SiC). Následují běžné složky karbidu křemíku, které se nacházejí v oxidačních a difúzních pecích:

Oplatkový člun

Člun z karbidu křemíku je kontejner používaný k přepravě křemíkových plátků, který vydrží vysoké teploty a nebude reagovat s křemíkovými pláty.

Trubka pece

Trubka pece je hlavní součástí difuzní pece, která se používá k uložení křemíkových plátků a řízení reakčního prostředí. Trubky pece z karbidu křemíku mají vynikající odolnost vůči vysokým teplotám a korozi.

Přepážka

Slouží k regulaci proudění vzduchu a rozložení teploty uvnitř pece

Ochranná trubice termočlánku

Používá se k ochraně termočlánků pro měření teploty před přímým kontaktem s korozivními plyny.

Konzolové pádlo

Konzolová pádla z karbidu křemíku jsou odolná vůči vysokým teplotám a korozi a používají se k přepravě křemíkových člunů nebo křemenných člunů nesoucích křemíkové plátky do trubek difúzní pece.

Plynový vstřikovač

Používá se k zavádění reakčního plynu do pece, musí být odolný vůči vysoké teplotě a korozi.

Lodní nosič

Lodní nosič z karbidu křemíku se používá k upevnění a podepření křemíkových plátků, které mají výhody, jako je vysoká pevnost, odolnost proti korozi a dobrá strukturální stabilita.

Dveře pece

Povlaky nebo komponenty z karbidu křemíku mohou být také použity na vnitřní straně dvířek pece.

Topné těleso

Topné články z karbidu křemíku jsou vhodné pro vysoké teploty, vysoký výkon a mohou rychle zvýšit teplotu nad 1000 ℃.

SiC vložka

Používá se k ochraně vnitřní stěny trubek pece, může pomoci snížit ztráty tepelné energie a odolat drsným prostředím, jako je vysoká teplota a vysoký tlak.