Silikonový podstavec

Silikonový susceptor VeTek Semiconductor je produkt z čistého křemíku navržený tak, aby zajistil teplotní stabilitu v trubici tepelného reaktoru během zpracování křemíkového plátku, čímž se zlepšila účinnost tepelné izolace. Zpracování křemíkového plátku je extrémně přesný proces a rozhodující roli hraje teplota, která přímo ovlivňuje tloušťku a rovnoměrnost křemíkového plátku.

Křemíkový podstavec je umístěn ve spodní části trubky tepelného reaktoru pece a nese křemíknosič oplatkypři poskytování efektivní tepelné izolace. Na konci procesu se postupně ochlazuje na okolní teplotu spolu s nosičem křemíku.

Základní funkce a výhody polovodičových silikonových podstavců vetek:

Poskytněte stabilní podporu pro zajištění přesnosti procesu

Silikonový podstavec poskytuje stabilní a vysoce tepelně rezistentní podpůrnou platformu pro křemíkovou loď ve vysokoteplotní peci. Tato stabilita může účinně zabránit tomu, aby se křemíkové lodi během zpracování přesunuly nebo naklonily, čímž se zabrání ovlivnění uniformity proudění vzduchu nebo ničení teploty, což zajišťuje vysokou přesnost a konzistenci procesu.

Zvyšte uniformitu teploty v peci a zlepšujte kvalitu oplatky

Izolací křemíkové lodi z přímého kontaktu s dnem nebo stěnou pec může křemíkovou základnu snížit ztráty tepla způsobené vedením, čímž se dosáhne rovnoměrnějšího rozdělení teploty v tepelné reakční trubici. Toto jednotné tepelné prostředí je nezbytné pro dosažení jednotnosti difúze destičky a oxidové vrstvy, což výrazně zlepšuje celkovou kvalitu oplatky.

Optimalizujte tepelně izolační výkon a snižte spotřebu energie

Vynikající tepelně izolační vlastnosti křemíkového základního materiálu pomáhají snižovat tepelné ztráty v komoře pece, čímž výrazně zlepšují energetickou účinnost procesu. Tento účinný mechanismus tepelného managementu nejen urychluje cyklus ohřevu a chlazení, ale také snižuje spotřebu energie a provozní náklady a poskytuje ekonomičtější řešení pro výrobu polovodičů.

Specifikace VeTek Semiconductor Silicon Pedestal

Výrobní závody VeTek Semiconductor Silicon Pedestal