Pádlo konzoly křemíku (sic)

Konzolový pádlo křemíku (SIC) je nepostradatelnou klíčovou součástí procesu zpracování oplatky. Je to hlavně součástí systému transportu oplatky. Provádí důležitý úkol přepravy a přepravy oplatků v zařízeních, jako jsou vysokoteplotní oxidační difúzní pece, zajišťují soustřednost oplatky a trubice pece a zlepšení konzistence a výnosu zpracování oplatky.

Konzolové pádlo SiC má vynikající výkon při vysokých teplotách: ve vysokoteplotním prostředí až do 1600 ℃ může konzolové pádlo SiC stále udržovat vysokou pevnost a stabilitu, nedeformuje se, nepoškodí a další problémy a může pracovat stabilně po dlouhou dobu.

Konzolová lopatka z karbidu křemíku je vyrobena z vysoce čistého materiálu SiC a během zpracování destičky neodpadnou žádné částice, čímž se zabrání kontaminaci povrchu destičky. Materiál z karbidu křemíku má vysokou pevnost v ohybu a vydrží větší namáhání při přenášení více plátků a není náchylný k rozbití, což zajišťuje bezpečnost a stabilitu procesu přenosu plátků. Vynikající chemická stabilita SiC pomáhá konzolovému pádlu SiC odolávat korozi z různých chemikálií a plynů, zabraňuje nečistotám kontaminovat destičku v důsledku koroze materiálu a prodlužuje životnost produktu.

Pracovní schéma SiC Cantilever Paddle

Specifikace produktu

● Různé velikosti: Poskytujeme pádly na křemíkový karbid (SIC) různých velikostí, abychom vyhověli potřebám různých typů polovodičových zařízení a zpracování oplatky různých velikostí.

●  Přizpůsobená služba: Kromě standardních specifikačních produktů můžeme také vytvářet exkluzivní řešení pro zákazníky podle jejich zvláštních požadavků, jako je specifická velikost, tvar, nakládací kapacita atd.

●  Jednodílné provedení výlisku: Obvykle se vyrábí pomocí jednodílného procesu formování, včetně spojovací sekce, sekce přechodu a ložiska. Části jsou pevně spojeny a mají silnou integritu, což účinně zlepšuje strukturální sílu a stabilitu produktu a snižuje riziko selhání způsobeného slabými připojenými částmi.

●  Zesílená konstrukce: Některé výrobky jsou vybaveny výztužnými konstrukcemi v klíčových částech, jako je přechodová část, jako je spodní deska, přítlačná deska, ojnice atd., což dále zvyšuje pevnost spojení mezi přechodovou částí a spojovací částí a ložiskovou částí , zlepšuje spolehlivost High Purity SiC Cantilever Paddle při přenášení waferu a zabraňuje problémům, jako je zlomenina v přechodové oblasti.

●  Speciální design oblasti ložiska: Konstrukce oblasti ložiska plně zvažuje přenos umístění a tepla oplatky. Některé výrobky jsou vybaveny drážkou ve tvaru písmene U, dlouhými otvory, obdélníkovými otvory a dalšími strukturami v ložiskové oblasti, což nejen snižuje hmotnost samotné ložiskové oblasti, ale také snižuje kontaktní plochu s oplatkou, aby se zabránilo blokování tepla. Současně může také zajistit stabilitu oplatky během přenosu a zabránit pádu oplatky.

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku ：

Během výrobního procesu musí každá konzolová pádla z karbidu křemíku (SiC) projít přísnými kontrolami kvality, včetně kontroly rozměrové přesnosti, kontroly vzhledu, testování fyzikálních vlastností, testování chemické stability atd., aby bylo zajištěno, že produkt splňuje vysoké standardy kvality a může splňovat přísné požadavky na zpracování polovodičových destiček.

Vetek Semiconductor poskytuje celou řadu služeb po prodeji. Pokud se zákazníci během používání setkávají s jakýmikoli problémy, bude tým profesionálních poprodejních prodejen včas reagovat a poskytne zákazníkům rychlá a efektivní řešení, aby zajistila, že výroba zákazníků není ovlivněna.

VeTek SemiconductorVýrobní závody vysoce čistých SiC konzolových pádel: