8palcový CVD epitaxní horní kroužek potažený karbidem křemíku (SiC).

Klíčové vlastnosti 8palcového horního kroužku SiC Epi

● Vysoká čistota: minimálně 99,9995 %. Kov nebude migrovat do epi-vrstvy. To udržuje koncentraci nosiče plátků tam, kde je potřeba.

● Potlačení částic: Struktura CVD je hustá. Žádné póry. Během chodu nástroje neuvolňuje částice. Továrny takto vidí lepší výnosy.

● Tepelná odolnost: Kroužek zůstává stabilní při 1500°C. Nízké CTE (tepelná roztažnost) znamená, že nedochází k deformaci během rychlých cyklů zahřívání/ochlazení.

● Chemická stabilita: Pevný CVD SiC odolává plynům H2 a HCl. Odolává také NH3. Nemá žádný povlak, který by se dal odlepit. Nedegraduje v drsných CVD prostředích.

● Životnost součástí: Povrch je extrémně tvrdý. Přežije opakované chemické čištění HF/HCl. To snižuje frekvenci výměny. Také to snižuje celkové náklady na vlastnictví fab.

Technické specifikace

Rovnoměrnost tloušťky povlaku mezi šaržemi je řízena na 10 um

Aplikace

CVD SiC epi top kroužek je široce používán v:

● Silikonové epitaxní (Si Epi) reaktory

● Epitaxe karbidu křemíku (SiC Epi)

● Systémy MOCVD

● Zařízení pro depozici CVD

Běžně spárováno s:

● Susceptory

● Nosiče plátků

● Předehřejte kroužky

● Epitaxní reaktory

Proč zvolit VETEK SiC Epi Top Ring?

● Plná výrobní kapacita: 

Od čištění surovin až po přesné obrábění a CVD povlak řídí VETEK celý výrobní proces, aby byla zajištěna konzistentní kvalita polovodičů.

● Vysoká přesnost: 

Používáme obrábění na úrovni mikronů. Tloušťka CVD je velmi rovnoměrná. Díky tomu funguje každý prsten přesně stejně.

FAQ

(1) Co dělá horní kroužek SiC epi?

Kroužek řídí proudění tepla a plynu. Zajišťuje, že tenký film roste rovnoměrně po celé destičce.

(2) Proč je CVD SiC lepší než grafit?

Grafit je porézní. Grafit má póry a uvolňuje plyny. Pevný CVD SiC je hustý a čistý. V korozivních nástrojích vydrží mnohem déle.

(3). Lze 8palcový horní kroužek SiC přizpůsobit?

Ano. Stavíme podle vašich konkrétních výkresů nástrojů. Geometrii můžeme upravit na základě vašeho procesu.

(4). Jaká průmyslová odvětví používají SiC epitaxní kroužky?

Používají se hlavně při výrobě polovodičů, včetně výkonových zařízení, RF zařízení a výroby SiC destiček.