produkty

Zaostřovací kroužek Veteksemicon z karbidu křemíku (SiC) je kritická spotřební součástka používaná v pokročilých procesech epitaxe polovodičů a plazmového leptání, kde je zásadní přesné řízení distribuce plazmatu, tepelné rovnoměrnosti a okrajových efektů destiček. Tento zaostřovací kroužek, vyrobený z vysoce čistého pevného karbidu křemíku, vykazuje výjimečnou odolnost proti erozi plazmatem, stabilitu při vysokých teplotách a chemickou inertnost, což umožňuje spolehlivý výkon v agresivních procesních podmínkách. Těšíme se na váš dotaz.

Růst krystalů karbidu křemíku je základním procesem při výrobě vysoce výkonných polovodičových součástek. Stabilita, přesnost a kompatibilita zařízení pro růst krystalů přímo určují kvalitu a výtěžnost ingotů karbidu křemíku. Na základě charakteristik technologie Physical Vapor Transport (PVT) vyvinula společnost Veteksemi odporovou ohřívací pec pro růst krystalů karbidu křemíku, která umožňuje stabilní růst 6palcových, 8palcových a 12palcových krystalů karbidu křemíku s plnou kompatibilitou s vodivými, poloizolačními a materiálovými systémy typu N. Přesným řízením teploty, tlaku a výkonu účinně snižuje defekty krystalů, jako je EPD (Etch Pit Density) a BPD (Basal Plane Dislocation), přičemž se vyznačuje nízkou spotřebou energie a kompaktním designem, který splňuje vysoké standardy průmyslové velkovýroby.

Technologie spojování semen SiC je jedním z klíčových procesů, které ovlivňují růst krystalů. Společnost VETEK vyvinula specializovanou vakuovou lisovací pec pro spojování semen na základě vlastností tohoto procesu. Pec může účinně redukovat různé defekty vzniklé během procesu spojování zrn, čímž zlepšuje výtěžnost a konečnou kvalitu krystalového ingotu.

Komora epitaxního reaktoru s povlakem Veteksemicon SiC je základní komponentou navrženou pro náročné procesy epitaxního růstu polovodičů. S využitím pokročilé chemické depozice z plynné fáze (CVD) vytváří tento produkt hustý, vysoce čistý povlak SiC na vysoce pevném grafitovém substrátu, což má za následek vynikající stabilitu při vysokých teplotách a odolnost proti korozi. Účinně odolává korozivním účinkům reakčních plynů ve vysokoteplotních procesních prostředích, výrazně potlačuje kontaminaci částicemi, zajišťuje konzistentní kvalitu epitaxního materiálu a vysokou výtěžnost a podstatně prodlužuje cyklus údržby a životnost reakční komory. Jedná se o klíčovou volbu pro zlepšení efektivity výroby a spolehlivosti polovodičů s širokým pásmem, jako jsou SiC a GaN.

Silicon Cassette Boat od Veteksemicon je precizně zkonstruovaný nosič plátků vyvinutý speciálně pro aplikace vysokoteplotních polovodičových pecí, včetně oxidace, difúze, vjezdu a žíhání. Vyrobeno z vysoce čistého křemíku a dokončeno podle pokročilých standardů kontroly kontaminace, poskytuje tepelně stabilní, chemicky inertní platformu, která se věrně shoduje s vlastnostmi samotných křemíkových plátků. Toto vyrovnání minimalizuje tepelné namáhání, snižuje prokluz a tvorbu defektů a zajišťuje výjimečně rovnoměrné rozložení tepla v celé dávce

V základním procesu epitaxního růstu karbidu křemíku Veteksemicon chápe, že výkon susceptorů přímo určuje kvalitu a efektivitu výroby epitaxní vrstvy. Naše vysoce čisté EPI susceptory, navržené speciálně pro oblast SiC, využívají speciální grafitový substrát a hustý CVD SiC povlak. Díky své vynikající tepelné stabilitě, vynikající odolnosti proti korozi a extrémně nízké rychlosti tvorby částic zajišťují zákazníkům bezkonkurenční tloušťku a stejnoměrnost dopingu i v náročných vysokoteplotních procesních prostředích. Výběr Veteksemicon znamená výběr základního kamene spolehlivosti a výkonu pro vaše pokročilé procesy výroby polovodičů.