produkty

Veteksemicon SiC potažený grafitový susceptor pro ASM je hlavní nosnou součástí v polovodičových epitaxních procesech. Tento produkt využívá naši patentovanou technologii pyrolytického povlaku z karbidu křemíku a přesné obráběcí procesy k zajištění vynikajícího výkonu a ultra dlouhé životnosti ve vysokoteplotních a korozních procesních prostředích. Hluboce rozumíme přísným požadavkům epitaxních procesů na čistotu substrátu, tepelnou stabilitu a konzistenci a jsme odhodláni poskytovat zákazníkům stabilní a spolehlivá řešení, která zvyšují celkový výkon zařízení.

Polovodičové křemenné kelímky Veteksemicon jsou klíčovými spotřebními materiály v procesu růstu monokrystalů Czochralski. S extrémní čistotou a vynikající tepelnou stabilitou jako naším hlavním zaměřením jsme odhodláni poskytovat zákazníkům vysoce kvalitní produkty, které vykazují stabilní výkon a vynikající odolnost vůči krystalizaci v prostředí s vysokou teplotou a vysokým tlakem. To zajišťuje kvalitu krystalových tyčí od zdroje, což pomáhá výrobě polovodičových křemíkových plátků dosáhnout vyšších výtěžků a lepší nákladové efektivity.

Zaostřovací kroužek Veteksemicon je navržen speciálně pro náročné polovodičové leptací zařízení, zejména aplikace pro leptání SiC. Namontovaný kolem elektrostatického upínače (ESC), v těsné blízkosti plátku, jeho primární funkcí je optimalizovat distribuci elektromagnetického pole v reakční komoře a zajistit rovnoměrné a soustředěné působení plazmatu po celém povrchu plátku. Vysoce výkonný zaostřovací kroužek výrazně zlepšuje rovnoměrnost rychlosti leptání a snižuje okrajové efekty, čímž přímo zvyšuje výtěžnost produktu a efektivitu výroby.

Nosná deska Veteksemicon z karbidu křemíku pro LED leptání, speciálně navržená pro výrobu LED čipů, je základní spotřební materiál v procesu leptání. Vyrobeno z přesného slinutého vysoce čistého karbidu křemíku, nabízí výjimečnou chemickou odolnost a rozměrovou stabilitu při vysokých teplotách, účinně odolává korozi silnými kyselinami, zásadami a plazmou. Jeho vlastnosti s nízkou kontaminací zajišťují vysokou výtěžnost pro LED epitaxní destičky, zatímco jeho trvanlivost, která daleko převyšuje trvanlivost tradičních materiálů, pomáhá zákazníkům snižovat celkové provozní náklady, což z něj činí spolehlivou volbu pro zlepšení účinnosti a konzistence procesu leptání.

Grafitový člun Veteksemicon pro PECVD je precizně vyroben z vysoce čistého grafitu a je navržen speciálně pro procesy chemické depozice z plynné fáze s využitím plazmy. Využitím našich hlubokých znalostí materiálů pro polovodičové tepelné pole a možností přesného obrábění nabízíme grafitové čluny s výjimečnou tepelnou stabilitou, vynikající vodivostí a dlouhou životností. Tyto čluny jsou navrženy tak, aby zajistily vysoce rovnoměrné nanášení tenkého filmu na každý plátek v náročném procesním prostředí PECVD, čímž se zlepšila výtěžnost procesu a produktivita.

CVD TaC Coated Graphite Ring od Veteksemicon je navržen tak, aby splňoval extrémní požadavky na zpracování polovodičových destiček. Pomocí technologie chemického nanášení z plynné fáze (CVD) je na vysoce čisté grafitové substráty aplikován hustý a jednotný povlak z karbidu tantalu (TaC), čímž se dosahuje výjimečné tvrdosti, odolnosti proti opotřebení a chemické inertnosti. Při výrobě polovodičů je grafitový kroužek potažený CVD TaC široce používán v MOCVD, leptacích, difúzních a epitaxních růstových komorách, sloužící jako klíčová konstrukční nebo těsnící součást pro nosiče destiček, susceptory a stínící sestavy. Těšíme se na vaši další konzultaci.