Grafitový člun pro PECVD

Aplikace: Grafitový člun Veteksemicon pro PECVD je základní složkou procesu chemické depozice z plynné fáze vylepšené plazmou. Je navržen speciálně pro nanášení vysoce kvalitních nitridů křemíku, oxidu křemíku a dalších tenkých vrstev na křemíkové destičky, složené polovodiče a substráty zobrazovacích panelů. Jeho výkon přímo určuje rovnoměrnost filmu, stabilitu procesu a výrobní náklady.

Služby, které lze poskytnout: analýza scénářů zákaznických aplikací, přizpůsobení materiálů, řešení technických problémů.

Profil společnosti：Veteksemicon má 2 laboratoře, tým odborníků s 20letými zkušenostmi s materiálem, s výzkumnými a vývojovými a výrobními, testovacími a ověřovacími schopnostmi.

Obecné informace o produktu

Obchodní podmínky produktu

Hlavní aplikační oblasti

Můj rival Graphite člun pro výhody jádra PECVD

1. Vysoce čisté substráty, kontrolující znečištění ze zdroje

Trváme na použití izostaticky lisovaného vysoce čistého grafitu se stabilní čistotou přes 99,995 % jako základního materiálu, abychom zajistili, že nebude srážet kovové nečistoty ani v nepřetržitém provozním prostředí 1600 °C. Tento přísný požadavek na materiál může přímo zabránit degradaci výkonu plátku způsobené kontaminací nosiče, což poskytuje nejzákladnější záruku pro ukládání vysoce kvalitních filmů z nitridu křemíku nebo oxidu křemíku.

2. Přesné tepelné pole a konstrukční návrh zajišťující jednotnost procesu

Prostřednictvím rozsáhlé simulace kapalin a dat z měření procesu jsme optimalizovali úhel štěrbiny člunu, hloubku vodící drážky a dráhu proudění plynu. Tato pečlivá konstrukční úvaha umožňuje rovnoměrnou distribuci reaktivních plynů mezi plátky. Skutečná měření ukazují, že při plném zatížení lze odchylku stejnoměrnosti tloušťky filmu mezi plátky ve stejné šarži stabilně kontrolovat v rozmezí ±1,5 %, což výrazně zlepšuje výtěžnost produktu.

3. Přizpůsobená řešení povlaků pro konkrétní procesní korozi

Abychom vyhověli různým prostředím procesních plynů různých zákazníků, nabízíme dvě vyzrálé možnosti povrchové úpravy: pyrolytický uhlík a karbid křemíku. Pokud nanášíte hlavně nitrid křemíku a používáte čištění vodíkem, hustý pyrolytický uhlíkový povlak může poskytnout vynikající odolnost proti erozi vodíkovým plazmou. Pokud váš proces zahrnuje čisticí plyny obsahující fluor, pak je lepší volbou povlak z karbidu křemíku s vysokou tvrdostí. Dokáže prodloužit životnost grafitového člunu ve vysoce korozivním prostředí na více než trojnásobek životnosti běžných nepotažených produktů.

4. Vynikající stabilita tepelného šoku, přizpůsobivá častým teplotním cyklům

Díky našemu jedinečnému grafitovému vzorci a designu vnitřních výztužných žeber mohou naše grafitové čluny odolat opakovaným rychlým ochlazovacím a tepelným šokům procesu PECVD. V přísných laboratorních testech, po 500 rychlých tepelných cyklech z pokojové teploty na 800 °C, míra zachování pevnosti v ohybu lodi stále přesáhla 90 %, čímž se účinně zabránilo praskání způsobenému tepelným namáháním a zajistila se kontinuita a bezpečnost výroby.

5. Schválení ověření ekologického řetězce

Člun Veteksemicon Graphite pro ověření ekologického řetězce PECVD pokrývá suroviny až do výroby, prošel mezinárodní certifikací standardů a má řadu patentovaných technologií, které zajišťují jeho spolehlivost a udržitelnost v oblasti polovodičů a nové energetiky.

Chcete-li získat podrobné technické specifikace, bílé knihy nebo opatření pro testování vzorků, kontaktujte náš tým technické podpory a prozkoumejte, jak může společnost Veteksemicon zvýšit efektivitu vašeho procesu.