Grafitový susceptor potažený SiC pro ASM

Obecné informace o produktu

Obchodní podmínky produktu

✔ Aplikace: Grafitový substrát potažený SiC Veteksemicon je klíčovým spotřebním materiálem pro epitaxní zařízení řady ASM. Přímo podporuje wafer a poskytuje rovnoměrné a stabilní tepelné pole během vysokoteplotní epitaxe, což z něj činí základní součást pro zajištění vysoce kvalitního růstu pokročilých polovodičových materiálů, jako je GaN a SiC.

✔ Služby, které lze poskytnout: analýza scénářů zákaznických aplikací, přizpůsobení materiálů, řešení technických problémů. 

✔ Profil společnosti：Veteksemicon má 2 laboratoře, tým odborníků s 20letými zkušenostmi s materiálem, s výzkumnými a vývojovými a výrobními, testovacími a ověřovacími schopnostmi.

Technické parametry

Veteksemicon SiC potažený grafitový susceptor pro výhody jádra ASM

1. Extrémní čistota a nízká míra vad

Použitím vysoce čistého speciálního grafitového substrátu s jemnými částicemi v kombinaci s naším přísně kontrolovaným procesem chemického nanášení z plynné fáze (CVD) zajišťujeme, že povlak je hustý, bez dírek a nečistot. To významně snižuje riziko kontaminace částicemi během epitaxního procesu a poskytuje čisté prostředí substrátu pro růst vysoce kvalitních epitaxních vrstev.

2. Vynikající odolnost proti korozi a opotřebení

Pyrolytický povlak z karbidu křemíku má extrémně vysokou tvrdost a chemickou inertnost, účinně odolává erozi zdrojů křemíku (jako je SiH4, SiHCl3), zdrojů uhlíku (jako je C3H8) a leptacích plynů (jako je HCl, H2) při vysokých teplotách. To výrazně prodlužuje cyklus údržby základny a snižuje prostoje stroje způsobené výměnou komponent.

3. Vynikající tepelná rovnoměrnost a stabilita

Optimalizovali jsme rozložení tepelného pole v rozsahu provozních teplot pomocí přesného návrhu struktury substrátu a kontroly tloušťky povlaku. To se přímo promítá do vynikající tloušťky a stejnoměrnosti měrného odporu v epitaxním plátku, což přispívá ke zlepšení výtěžnosti výroby čipu.

4. Vynikající přilnavost povlaku

Unikátní technologie předúpravy povrchu a gradientního povlakování umožňují povlaku z karbidu křemíku vytvořit silnou spojovací vrstvu s grafitovým substrátem, čímž účinně brání problémům s odlupováním, odlupováním nebo praskáním povlaku, které mohou nastat během dlouhodobého tepelného cyklování.

5. Přesná velikost a strukturální replikace

Disponujeme vyspělými schopnostmi CNC obrábění a testování, které nám umožňují zcela replikovat složitou geometrii, rozměry dutin a montážní rozhraní původní základny, což zajišťuje dokonalé přizpůsobení a funkčnost plug-and-play s platformou zákazníka.

6. Schválení ověření ekologického řetězce

Veteksemicon SiC potažený grafitový susceptor pro ověřování ekologického řetězce ASM pokrývá suroviny až do výroby, prošel mezinárodní standardní certifikací a má řadu patentovaných technologií, které zajišťují jeho spolehlivost a udržitelnost v oblasti polovodičů a nových energetických polí.

Chcete-li získat podrobné technické specifikace, bílé knihy nebo opatření pro testování vzorků, kontaktujte náš tým technické podpory a prozkoumejte, jak může společnost Veteksemicon zvýšit efektivitu vašeho procesu.

Hlavní aplikační oblasti

Obchod s produkty Veteksemicon