Části přijímače EPI

Obecné informace o produktu

Obchodní podmínky produktu

✔ Aplikace: Ve snaze o maximální výkon a výtěžnost v epitaxních procesech SiC poskytuje Veteksemicon EPI Susceptor vynikající tepelnou stabilitu a jednotnost, čímž se stává klíčovou podporou pro zlepšení výkonu napájecích a RF zařízení a snížení celkových nákladů.

✔ Služby, které lze poskytnout: analýza scénářů zákaznických aplikací, přizpůsobení materiálů, řešení technických problémů. 

✔ Profil společnosti：Veteksemicon má 2 laboratoře, tým odborníků s 20letými zkušenostmi s materiálem, s výzkumnými a vývojovými a výrobními, testovacími a ověřovacími schopnostmi.

Základní výhody stavebních dílů Veteksemicon EPI

1. Zajistěte maximální jednotnost

V epitaxních procesech karbidu křemíku dokonce i fluktuace tloušťky na úrovni mikronů a nehomogenity dopingu přímo ovlivňují výkon a výtěžnost konečného zařízení. Veteksemicon EPI Susceptor dosahuje optimálního rozložení tepelného pole v reakční komoře prostřednictvím přesné termodynamické simulace a konstrukčního návrhu. Náš výběr substrátu s vysokou tepelnou vodivostí v kombinaci s jedinečným procesem povrchové úpravy zajišťuje, že teplotní rozdíly v jakémkoli bodě povrchu destičky jsou řízeny v extrémně malém rozsahu i při vysokorychlostní rotaci a prostředí s vysokou teplotou. Přímou hodnotou, kterou to přináší, je vysoce reprodukovatelná epitaxní vrstva mezi jednotlivými dávkami s vynikající jednotností, která pokládá pevný základ pro výrobu vysoce výkonných a vysoce konzistentních výkonových čipů.

2. Odolávání vysokým teplotám

Epitaxní procesy SiC typicky vyžadují prodloužený provoz při teplotách přesahujících 1500 °C, což představuje vážnou výzvu pro jakýkoli materiál. Veteksemicon Susceptor využívá speciálně upravený izostaticky lisovaný grafit, jehož pevnost v ohybu za vysokých teplot a odolnost proti tečení daleko předčí běžné grafity. Dokonce i po stovkách hodin nepřetržitého vysokoteplotního tepelného cyklování si náš produkt zachovává svou původní geometrii a mechanickou pevnost, účinně zabraňuje deformaci plátků, prokluzování nebo rizikům kontaminace dutin procesu způsobeným deformací tácu, což zásadně zajišťuje kontinuitu a bezpečnost výrobních činností.

3. Maximalizujte stabilitu procesu

Přerušení výroby a neplánovaná údržba jsou hlavními zabijáky nákladů při výrobě plátků. Veteksemicon považuje stabilitu procesu za základní metriku pro Susceptor. Náš patentovaný povlak CVD SiC je hustý, neporézní a má zrcadlově hladký povrch. To nejen významně snižuje uvolňování částic při vysokoteplotním proudění vzduchu, ale také významně zpomaluje adhezi vedlejších produktů reakce (jako je polykrystalický SiC) k povrchu patra. To znamená, že vaše reakční komora může zůstat čistá po delší dobu, čímž se prodlouží intervaly mezi pravidelným čištěním a údržbou, čímž se zlepší celkové využití zařízení a propustnost.

4. Prodlužte životnost

Frekvence výměny susceptorů jako spotřebního komponentu přímo ovlivňuje výrobní provozní náklady. Veteksemicon prodlužuje životnost produktu prostřednictvím dvojího technologického přístupu: „optimalizace substrátu“ a „vylepšení povlaku“. Grafitový substrát s vysokou hustotou a nízkou pórovitostí účinně zpomaluje pronikání a korozi substrátu procesními plyny; současně náš silný a jednotný povlak SiC působí jako robustní bariéra, která výrazně potlačuje sublimaci při vysokých teplotách. Testování v reálném světě ukazuje, že za stejných podmínek procesu vykazují susceptory Veteksemicon pomalejší rychlost degradace výkonu a delší efektivní životnost, což vede k nižším provozním nákladům na jeden plátek.

5. Schválení ověření ekologického řetězce

Ověření ekologického řetězce Veteksemicon EPI Susceptor Part' pokrývá suroviny až do výroby, prošlo mezinárodní certifikací standardů a má řadu patentovaných technologií k zajištění spolehlivosti a udržitelnosti v oblasti polovodičů a nové energetiky.

Chcete-li získat podrobné technické specifikace, bílé knihy nebo opatření pro testování vzorků, kontaktujte náš tým technické podpory a prozkoumejte, jak může společnost Veteksemicon zvýšit efektivitu vašeho procesu.

Hlavní aplikační oblasti

Sklad produktů Můj rival