Zprávy

Vyplatí se investice do CVD Solid SiC? Porovnejte ROI monolitického SiC s tradičními grafitovými povlaky. Zjistěte, jak se vynikající odolnost vůči plazmě a rozšířené MTBC promítají do nižší míry zmetkovitosti plátků a vyšší doby provozuschopnosti zařízení pro 12palcové linky HVM.

Vysoce čisté materiály jsou nezbytné pro výrobu polovodičů. Tyto procesy zahrnují extrémní teplo a korozivní chemikálie. CVD-SiC (Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide) poskytuje potřebnou stabilitu a pevnost. Díky své vysoké čistotě a hustotě je nyní primární volbou pro pokročilé součásti zařízení.

Ve světě polovodičů z karbidu křemíku (SiC) většina pozornosti svítí na 8palcové epitaxní reaktory nebo na složitosti leštění plátků. Pokud však vysledujeme dodavatelský řetězec až na úplný začátek – uvnitř pece Physical Vapor Transport (PVT) – v tichosti probíhá zásadní „materiálová revoluce“.