Zprávy

Zjistěte, jak Vetek eliminoval radiální praskání u velkorozměrových MOCVD SiC potažených grafitových susceptorů. Přepracování konstrukčního namáhání a přizpůsobení CTE prodloužilo životnost o 300 %+.

Dekáda evoluce SiC – od prvních 4palcových komercializačních problémů po dnešní přechod na 8palcový wafer. Objevte, jak CVD SiC povlaky, Solid SiC a TaC materiály umožňují spolehlivou výrobu polovodičů.

Zjistěte, jak grafitové susceptory potažené CVD SiC zvyšují epitaxní růst zlepšením tepelné rovnoměrnosti, snížením kontaminace a prodloužením životnosti součástí při výrobě SiC, GaN, LED a silikonových polovodičů.