Zprávy průmyslu

V růstu monokrystalů SIC a ALN používají metodu fyzického transportu párů (PVT), zásadní roli hrají zásadní složky, jako je kelímky, držák semen a vodicí prsten. Jak je znázorněno na obrázku 2 [1], během procesu PVT je semen krystal umístěn v oblasti nižší teploty, zatímco surovina SIC je vystavena vyšším teplotám (nad 2400 ℃).

Substráty karbidu křemíku mají mnoho defektů a nelze je zpracovat přímo. K vytvoření čipových oplatků je třeba na ně pěstovat specifický tenko krystalový tenký film. Tento tenký film je epitaxiální vrstva. Téměř všechna zařízení na karbidu křemíku jsou realizována na epitaxiálních materiálech. Vysoce kvalitní homogenní epitaxiální materiály křemíku křemíku jsou základem pro vývoj křemíkových karbidových zařízení. Výkon epitaxiálních materiálů přímo určuje realizaci výkonu silikonových karbidových zařízení.

Karbid Silicon přetváří polovodičový průmysl pro aplikace výkonu a vysokoteplotních aplikací s komplexními vlastnostmi, od epitaxiálních substrátů po ochranné povlaky po elektrická vozidla a systémy obnovitelné energie.

Vysoká čistota: Křemíková epitaxní vrstva narostlá chemickou depozicí z plynné fáze (CVD) má extrémně vysokou čistotu, lepší rovinnost povrchu a nižší hustotu defektů než tradiční destičky.

Pevný křemíkový karbid (SIC) se stal jedním z klíčových materiálů ve výrobě polovodičů díky svým jedinečným fyzickým vlastnostem. Následuje analýza jeho výhod a praktické hodnoty na základě jeho fyzikálních vlastností a jeho specifických aplikací v polovodičovém vybavení (jako jsou nosiče oplatky, sprchové hlavy, leptací zaostřovací kroužky atd.).