produkty
CMP leští kaše
  • CMP leští kašeCMP leští kaše

CMP leští kaše

Leští kaše CMP (chemická mechanická leštící kaše) je vysoce výkonný materiál používaný při výrobě polovodičů a přesného zpracování materiálu. Jeho základní funkcí je dosáhnout jemné rovinnosti a leštění povrchu materiálu pod synergickým účinkem chemické koroze a mechanického broušení, aby se splňovaly požadavky na kvalitu roviny a povrchu na úrovni nano. Těšíme se na vaši další konzultaci.

Leští kaše CMP veteksemicon se používá hlavně jako lešticí abraziva v chemické mechanické kaši CMP pro roviny polovodičové materiály. Má následující výhody:

Stupeň asociace částic průměru a částic může být volně kontrolován;
Částice jsou monodisperzní a distribuce velikosti částic je jednotná;
Disperzní systém je stabilní;
Měřítko hmotnostní výroby je velká a rozdíl mezi dávkami je malý;
Není snadné kondenzovat a usadit se.


Indikátory výkonu pro produkty série ultra vysokých čistoty

Parametr
Jednotka
Indikátory výkonu pro produkty série ultra vysokých čistoty

Biskup
Biskup2
Biskup3
Biskup4
Biskup-5
Biskup6
Biskup7
Průměrná velikost částic oxidu křemičitého
nm
35±5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Distribuce velikosti nanočástic (PDI)
1 <0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
Řešení ph
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Pevný obsah
% 20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
Vzhled
-
Světle modrá
Modrý
Bílý
Off-white
Off-white
Off-white
Off-white
Morfologie částic x
X : S-Pherical ; B-zakřivený ; p-penian ve tvaru ; T-Bulbózní ; C-řetězový (agregovaný stav)
Stabilizační ionty
Organické / anorganické aminy
Složení suroviny y
A : m-tmos ; e-you ; me-tamos+teos ; em-ezos+tmos
Obsah kovových nečistot
≤ 300ppb


Aplikace CMP leštící kaše :


● Integrovaný obvod ILD materiály CMP

● Integrovaný obvod Poly-Si Materials CMP

● Polovodičový monokrystalické křemíkové destičky materiály CMP

● polovodičové křemíkové karbidové materiály CMP

● Integrovaný obvod STI materiály CMP

● Integrované obvodové kovové a kovové bariérové ​​vrstvy Materiály CMP


Hot Tags: CMP leští kaše
Odeslat dotaz
Kontaktní informace
Máte-li dotazy ohledně povlaku karbidu křemíku, povlaku karbidu tantalu, speciálního grafitu nebo ceníku, zanechte nám prosím svůj e-mail a my se vám do 24 hodin ozveme.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept