Sic povlak halfmoon grafitové části

V reakční komoře sic epitaxiální růstové pece jsou sic povlak Halfmoon Graphite části klíčovými součástmi pro optimalizaci rozdělení toku plynu, kontrolu tepelného pole a uniformitu reakční atmosféry. Obvykle jsou vyrobeny z povlaku sicgrafit, navržený ve tvaru půlměsíce, umístěný v horní a spodní grafitové části reakční komory, obklopující plochu substrátu.

    • •Horní poloviční grafitová část: instalován v horní části reakční komory, blízko vstupu plynu, zodpovědný za vedení reakčního plynu, aby proudil směrem k povrchu substrátu.

    • •Spodní půlměsíc grafitová část: umístěný na dně reakční komory, obvykle pod držákem substrátu, používaný k řízení směru proudění plynu a optimalizaci tepelného pole a distribuce plynu na dně substrátu.

BěhemProces epitaxe SiChorní půlměsícová grafitová část pomáhá vést proud plynu tak, aby byl rovnoměrně rozložen na substrátu, čímž brání plynu v přímém dopadu na povrch substrátu a způsobuje místní přehřátí nebo turbulenci proudění vzduchu. Spodní půlměsícová grafitová část umožňuje plynu plynulé proudění substrátem a následné vypouštění, přičemž zabraňuje turbulenci ovlivňovat rovnoměrnost růstu epitaxní vrstvy.

Pokud jde o regulaci tepelného pole ， sic povlak halfmoon grafitové části pomáhají rovnoměrně rozložit teplo v reakční komoře prostřednictvím tvaru a polohy. Horní grafitová část Halfmoon může účinně odrážet zářivé teplo ohřívače, aby se zajistilo, že teplota nad substrátem je stabilní. Dolní poloviční grafitová část má také podobnou roli, která pomáhá rovnoměrně distribuovat teplo pod substrátem prostřednictvím tepelného vedení, aby se zabránilo nadměrným teplotním rozdílům.

Povlak SIC způsobuje, že komponenty jsou odolné vůči vysokým teplotám a tepelně vodivým, takže vetek Semiconductorovy polovodičové části mají dlouhou životnost. Pečlivě navržené, naše půlměsíční grafitové části pro sic epitaxy mohou být hladce integrovány do mnoha epitaxiálních reaktorů, což pomáhá zlepšit celkovou účinnost a spolehlivost procesu výroby polovodičů. Ať už vaše díly grafitových částí sic halfmoon halfmoon potřebuje, kontaktujte prosím Vetek Semiconductor.

VeteksemSiC povlak halfmoon grafit dílny: