Zprávy

Elektrostatické sklíčivo (ESC), známé také jako elektrostatické sklíčivo (ESC, E-Chuck), je příslušenství, které používá princip elektrostatické adsorpce k držení a fixaci adsorbovaného materiálu. Je vhodný pro vakuové a plazmatické prostředí.

Sic nosiče destiček, jako klíčové spotřební materiály v polovodičovém řetězci třetí generace, jejich technické vlastnosti přímo ovlivňují výnos růstu epitaxiálního a výroby zařízení. S rostoucí poptávkou po vysoce napěťových a vysokoteplotních zařízeních v průmyslových odvětvích, jako jsou základní stanice 5G a nová energetická vozidla, nyní výzkum a použití nosičů SIC oplatky nyní čelí významným rozvojovým příležitostem.

Ceramika oxidu alumina je „pracovním koňkou“ pro výrobní keramické komponenty. Vykazují vynikající mechanické vlastnosti, ultra vysoké body tání a tvrdost, odolnost proti korozi, silnou chemickou stabilitu, vysokou odolnost a vynikající elektrickou izolaci. Obvykle se používají k výrobě lešticích desek, vakuových sklíčinek, keramických ramen a podobných částí.

Polovodičové materiály lze klasifikovat do tří generací v chronologickém pořadí. První generace se skládá ze společných elementárních materiálů, jako je germanium a křemík, které se vyznačují pohodlným přepínáním a obvykle se používají v integrovaných obvodech. Sloučené polovodiče druhé generace, jako je arzenid gallium a indium fosfid, se používají hlavně ve luminiscenčních a komunikačních materiálech.

Křemenná zařízení hrají rozhodující roli ve výrobě solárních článků a nabízejí výjimečnou tepelnou odolnost, chemickou čistotu a strukturální stabilitu vyžadovanou ve vysokoteplotních procesech. Od křemenných difúzních zkumavek a kelímků po křemenné lodě a komponenty pece jsou tyto materiály s vysokou čistotou nezbytné pro dosažení optimální účinnosti v difúzi, CVD a krocích mokrých lepků.

Povlak TAC téměř zcela eliminuje jev zapouzdření uhlíku izolací přímého kontaktu mezi grafitovým kelímkem a taveninkou SIC, což výrazně snižuje hustotu defektu mikrotrubic