Zprávy

Křemenná loď je klíčovou součástí nesoucí zátěž používanou ve výrobním procesu polovodiče. Používá se hlavně pro vysokoteplotní zpracování destiček, jako je difúze, oxidace a žíhání. Díky jeho vynikající tepelné stabilitě, charakteristice s nízkým znečištěním a odolností proti korozi z něj činí nepostradatelný materiál v polovodičovém průmyslu. Tento článek se bude zabývat materiálem, fyzikálními vlastnostmi, klasifikací, aplikačními scénáři křemenné lodi a jeho rozdíly od PECVD grafitové lodi.

Hlavním materiálem jádra grafitové lodi PECVD je izotropní grafitový materiál s vysokou čistotou (čistota je obvykle ≥ 99,999%), který má vynikající elektrickou vodivost, tepelnou vodivost a hustotu. Ve srovnání s běžnými grafitovými loděmi mají grafitové lodě PECVD mnoho výhod fyzických a chemických vlastností a používají se hlavně v polovodičovém a fotovoltaickém průmyslu, zejména v procesech PECVD a CVD.

Grafity MOCVD hrají důležitou roli v epitaxiálním procesu. Tento článek provádí podrobnou analýzu výběru gradů MOCVD z perspektiv materiálových vlastností a scénářů aplikací.