Vysoce čistý neprůhledný křemenný štít a závěrka pro MOCVD

1. Technické specifikace

Poskytujeme vysoce přesné obrábění na základě vašich technických výkresů, abychom zajistili dokonalé přizpůsobení vašim konkrétním modelům zařízení.

2. Základní aplikační pole

● Ochrana procesu MOCVD: Slouží jako základní vnitřní štíty/vložky pro ochranu reakčního prostředí.

● Polovodičová epitaxe: Používá se jako vysoce přesné uzávěry pro stabilizaci průtoku a teploty během růstu tenké vrstvy.

● Wide-Bandgap Semiconductor Manufacturing: Kompatibilní s prostředími s vysokou poptávkou pro GaN a další pokročilé materiály.

3. Proč zvolit řešení VETEK Quartz Solutions?

● Špičkové řízení tepelného záření: Náš mléčně bílý křemen obsahuje vysokou hustotu mikrobublin, které účinně rozptylují a blokují vysokoteplotní tepelné záření (>1000°C). Absorbuje viditelné a blízké infračervené světlo z topných těles a přeměňuje je na vzdálené infračervené záření, čímž zajišťuje vysoce rovnoměrné zahřívání.
● Kontrola kontaminace a snadná údržba: Jako obětní nebo vyměnitelná vnitřní vložka udržuje Quartz Shield reakční komoru čistou tím, že zabraňuje usazování vedlejších produktů na drahých stěnách komory a ohřívačích. Tyto části lze regenerovat mokrým čištěním (jako jsou roztoky SPM+DHF) nebo snadno vyměnit, aby se zajistila vysoká výtěžnost plátků.
● Extrémní chemická odolnost: Křemen VETEK je navržen tak, aby vydržel časté tepelné cykly a odolával korozi způsobené organickými kovovými látkami (jako TMGa) a hydridy (jako AsH₃).
● Přesné řízení procesu: Naše křemenné okenice si zachovávají vysokou rozměrovou stabilitu při infračerveném nebo vláknovém ohřevu. Jejich nízká tepelná setrvačnost umožňuje rychlou mechanickou odezvu, umožňuje přesné řízení růstu na "atomové úrovni" a zabraňuje křížové kontaminaci během přepínání více plátků nebo více procesů.
● Nákladově efektivní alternativa: Pro projekty s přísnými rozpočtovými požadavky poskytují naše křemenné produkty spolehlivý vstupní bod ve srovnání s potaženým grafitem a nabízejí základní ochranu a funkčnost pro systémy MOCVD.