Stropní složka Aixtron G5+

Nitrid gallia (GAN) je široký polovodičový materiál s širokými bandgap s vynikajícími fyzikálními vlastnostmi, jako je vysoká mobilita elektronů, elektrické pole s vysokým rozpadem a vysoká rychlost nasycení elektronů. Je široce používán v optoelektronických zařízeních (jako jsou diody emitující světlo, laserové diody) a vysokofrekvenční vysoce výkonná elektronická zařízení (jako jsou výkonové zesilovače). Silicon (SI) je běžně používaný polovodičový substrátový materiál s výhodou nízkých nákladů, velké velikosti a kompatibility s existujícími integrovanými procesy obvodu na bázi křemíku. Proto je velmi cenné téma výzkumu na SI rostoucí epitaxiální vrstvy GAN na SI. Řada Aixtron G5+ je v současné době jedním z nejžhavějších epitaxiálních růstových zařízení GAN, které má mnoho důležitých složek, a stropní složka je jednou z důležitých složek.

Stropní složka Aixtron G5+ je vyrobena z grafitu SGL. Hlavní funkcí je řídit teplotu a zajistit nejnižší tepelný průtok oplatkou.

 ●Ovládání uniformity teploty: 

Stropní složka Aixtron G5+ pomáhá dosáhnout jednotného rozdělení teploty v reakční komoře. V procesu polovodičového epitaxiálního růstu je teplotní uniformita pro pěstování vysoce kvalitních epitaxiálních vrstev zásadní. Zajišťuje, že stejnou povrchovou teplotu lze získat na všech oplatkách nebo satelitních komponentách, čímž se zajistí konzistenci rychlosti růstu a kvalitu epitaxiálního materiálu na všech místech, čímž se zlepšuje výnos procesu.

 ● Optimalizujte růstové prostředí: 

V rámci reakční komory tvoří stropní složka Aixtron G5+ stabilní růstové prostředí spolu s dalšími složkami. Může snížit tepelné ztráty a učinit teplotu v reakční komoře stabilnější, což vede k přesné kontrole podmínek pro epitaxiální růst a snižování defektů epitaxiální vrstvy a výkonnost nejednotnost způsobená kolísáním teploty.

Složka stropu Aixtron G5+ je jedním z hlavních produktů v oboru, který zahájil Vetek Semiconductor. Výběr polovodiče veteku znamená partnerství se společností, která se zavázala posouvat hranice inovací potahování křemíkového karbidu. Se silným důrazem na kvalitu, výkon a spokojenost zákazníků dodáváme produkty, které nejen splňují, ale překračují přísné požadavky polovodičového průmyslu. Pomůžeme vám dosáhnout vyšší účinnosti, spolehlivosti a úspěchu ve vašich operacích s našimi pokročilými řešeními stropní komponenty Aixtron G5+.

Materiálové údaje o grafitu SGL 6510:

To polovodičAixtron G5+ stropní komponenty Products Shops