Jako nejlepší domácí výrobce křemíkového karbidu a tantalum karbidového povlaku je vetek Semiconductor schopen poskytnout přesné obrábění a jednotný povlak sic potaženého EPI susceptoru, což účinně kontroluje čistotu povlaku a produktu pod 5ppm. Životnost produktu je srovnatelná s životností SGL. Vítejte a zeptejte se nás.
Můžete si být jisti, že si v naší továrně zakoupíte SiC Coated Epi Susceptor.
Vetnek Semiconductor Sic Coated EPI Susceptor je epitaxiální hlaveň je zvláštním nástrojem pro polovodičový epitaxiální růstový proces s mnoha výhodami:
● Efektivní výrobní kapacita: Vetek Semiconductor's Sic Coated EPI Susceptor může pojmout více oplatků, což umožňuje provádět epitaxiální růst více oplatků současně. Tato účinná výrobní kapacita může výrazně zlepšit účinnost výroby a snížit výrobní cykly a náklady.
● Optimalizovaná kontrola teploty: SiC Coated Epi Susceptor je vybaven pokročilým systémem regulace teploty pro přesné řízení a udržování požadované růstové teploty. Stabilní regulace teploty pomáhá dosáhnout rovnoměrného růstu epitaxní vrstvy a zlepšit kvalitu a konzistenci epitaxní vrstvy.
● Rovnoměrné rozložení atmosféry: SIC potažený EPI Susceptor poskytuje jednotné rozdělení atmosféry během růstu, což zajišťuje, že každá oplatka je vystavena stejným podmínkám atmosféry. To pomáhá zabránit růstovým rozdílům mezi oplatky a zlepšuje uniformitu epitaxiální vrstvy.
● Efektivní kontrola nečistot: Návrh susceptoru EPI SIC pomáhá snížit zavedení a šíření nečistot. Může poskytnout dobré těsnění a kontrolu atmosféry, snížit dopad nečistot na kvalitu epitaxiální vrstvy, a tak zlepšit výkon a spolehlivost zařízení.
● Flexibilní vývoj procesů: Susceptor EPI má flexibilní schopnosti vývoje procesů, které umožňují rychlé přizpůsobení a optimalizaci růstových parametrů. To umožňuje vědcům a inženýrům provádět rychlý vývoj a optimalizaci procesů tak, aby vyhovovaly potřebám epitaxiálního růstu různých aplikací a požadavků.
Základní fyzikální vlastnosti CVD SiC povlaku:
Základní fyzikální vlastnosti CVD SIC povlaku
Vlastnictví
Typická hodnota
Krystalová struktura
Polykrystalická fáze FCC β, hlavně (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC
3,21 g/cm³
CVD Tvrdost povlaku sic
Tvrdost 2500 Vickers(zátěž 500g)
Velikost zrn
2 ~ 10 mm
Chemická čistota
99,99995%
Tepelná kapacita
640 J · KG-1· K.-1
Teplota sublimace
2700 ℃
Síla ohybu
415 MPa RT 4-bodový
Youngův modul
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Tepelná vodivost
300 W · m-1· K.-1
Tepelná roztažnost (CTE)
4,5×10-6K-1
To polovodičTakto potažené výuky EPIProdukční obchod
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Používáme cookies, abychom vám nabídli lepší zážitek z prohlížení, analyzovali návštěvnost webu a přizpůsobili obsah. Používáním tohoto webu souhlasíte s naším používáním souborů cookie. Zásady ochrany osobních údajů