Zprávy

Chemická depozice z plynné fáze (CVD) při výrobě polovodičů se používá k nanášení tenkovrstvých materiálů v komoře, včetně SiO2, SiN atd., a běžně používané typy zahrnují PECVD a LPCVD. Úpravou teploty, tlaku a typu reakčního plynu dosahuje CVD vysoké čistoty, stejnoměrnosti a dobrého pokrytí filmem pro splnění různých požadavků procesu.

Tento článek popisuje především široké možnosti použití keramiky z karbidu křemíku. Zaměřuje se také na analýzu příčin slinovacích trhlin v keramice z karbidu křemíku a odpovídající řešení.

Technologie leptání ve výrobě polovodičů často narazí na problémy, jako je efekt načítání, efekt mikropodniku a efekt nabíjení, které ovlivňují kvalitu produktu. Roztoky zlepšení zahrnují optimalizaci hustoty plazmy, nastavení složení reakčního plynu, zlepšení účinnosti vakuového systému, navrhování přiměřeného rozvržení litografie a výběr vhodných materiálů masky leptání a procesní podmínky.