SIC potažené e-chuck

Když se nitrid gallia (GAN) stává základním materiálem polovodiče třetí generace, jeho aplikace ve vysokofrekvenčních, vysokých a optoelektronických polích se stále rozšiřují, jako jsou základní základní stanice komunikace 5G, výkonové moduly a LED zařízení. Při výrobě polovodičů, zejména v procesu leptání, však musí být oplatky vystaveny vysoké teplotě, prostředí s vysokou chemickou korozí a extrémně vysokým přesným procesům, které předkládají extrémně vysoké technické standardy pro nástroje ložiska oplatky.

Sic keramické palety Vetek Semiconductor jsou navrženy pro leptání GAN Wafer a nabízejí vysokou čistotu, vynikající teplou a chemickou odolnost proti podpoře vašeho výrobního procesu. Je vhodný pro proces leptání v plazmě (ICP/RIE) a je ideální volbou v moderním výrobním vybavení polovodičů.

Základní silné stránky

1. SIC keramický materiál s vysokou čistotou

Chemická stabilita: Čistota materiálu je více než 99,5%a nedochází k žádnému znečištění.

Vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení: tvrdost v blízkosti diamantu, schopná odolávat vysokofrekvenčním používání, neviditelným změnám a škrábancem.

2. vynikající tepelný výkon

Vysoká tepelná vodivost, GAN odpovídající koeficientu tepelné roztažnosti (CTE): Snižte riziko praskání oplatky v leptacím procesu.

3. Super chemická odolnost proti korozi

Může fungovat ve vysoké koncentraci fluoridu, chloridu a jiného korozivního plynového prostředí po dlouhou dobu.

4. Precision Design and obrábění

Drsnost povrchu a rovinnost zajišťují hladké umístění oplatky a rovnoměrnost leptání, aby splňovaly požadavky na vysokou přesnost.

Rozměry, drážky, pevné otvory a další struktury lze přizpůsobit podle požadavků zákazníka.

Pole aplikace E-Chuck potažené sic

● Plazmové leptání (ICP/RIE)

Poskytuje fixaci a podporu oplatky ve vysoké teplotě a prostředí s vysokou chemickou korozí, vhodné pro proces leptání GAN, SIC a dalších materiálů.

● Přenos a skladování oplatky

Poskytněte vysoce plochou a beznebožnou platformu pro ochranu bezpečnosti oplatky ve výrobním procesu.

Přizpůsobené služby

To polovodičnabízí přizpůsobené služby, aby vyhovovaly vašim konkrétním potřebám procesu:

● Přizpůsobení velikosti: Velikost palet lze přizpůsobit podle velikosti oplatky (Ø4 ~ 12 palců).

● Optimalizace struktury: Podporujte drážku, polohovací díra, pevný bod a další přizpůsobení struktury.

To polovodičSIC Coated E-Chuck Products Shops: