MOCVD SiC potažený susceptor

Technické parametry

KRYSTALOVÁ STRUKTURA CVD SIC FILMU

Definice a složení produktu

Susceptor VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor je prémiová součástka nesoucí destičky navržená speciálně pro epitaxní zpracování polovodičů třetí generace, jako je GaN a SiC. Tento produkt spojuje vynikající fyzikální vlastnosti dvou vysoce výkonných materiálů:

Vysoce čistý grafitový substrát: Vyrobeno pomocí technologie izostatického lisování, která zajišťuje, že základní materiál má výjimečnou strukturální integritu, vysokou hustotu a stabilitu tepelného zpracování.

CVD SiC povlak: Hustá ochranná vrstva z karbidu křemíku (SiC) bez pnutí je vypěstována na povrchu grafitu pomocí pokročilé technologie chemického nanášení z vodních par (CVD).

Proč je VETEK zárukou vašeho výnosu

Maximální přesnost v řízení tepelné stejnoměrnosti: Na rozdíl od konvenčních nosičů dosahují susceptory VETEK vysoce synchronizovaného přenosu tepla po celém povrchu díky přesné kontrole tloušťky povlaku a tepelného odporu v nanometrovém měřítku. Tento sofistikovaný tepelný management účinně minimalizuje směrodatnou odchylku vlnové délky (STD) na povrchu waferu, čímž výrazně zvyšuje kvalitu jednoho waferu i celkovou konzistenci šarže.

Dlouhodobá ochrana s nulovou kontaminací částicemi: V reakčních komorách MOCVD obsahujících vysoce korozivní plyny jsou běžné grafitové podstavce náchylné k odlupování částic. CVD SiC povlak VETEK má výjimečnou chemickou inertnost a působí jako neproniknutelný štít, který utěsňuje grafitové mikropóry. To zajišťuje úplnou izolaci nečistot substrátu a zabraňuje jakékoli kontaminaci epitaxních vrstev GaN nebo SiC.

Výjimečná odolnost proti únavě a životnost:Díky patentovanému procesu úpravy rozhraní VETEK dosahuje náš povlak SiC optimalizované tepelné roztažnosti s grafitovým substrátem. Dokonce i při vysokofrekvenčních tepelných cyklech mezi extrémními teplotami si povlak zachovává vynikající přilnavost bez odlupování nebo vytváření mikrotrhlin. To výrazně snižuje frekvenci údržby náhradních dílů a snižuje vaše celkové náklady na vlastnictví.

Naše dílna