CVD SIC povlak grafitového susceptoru

CVD SIC Coating Graphite Susceptor je speciálně navržen pro vysoce přesnou výrobu v polovodičovém průmyslu. Grafitový substrát je potažen vysoce čistým SIC vrstvou procesem CVD, který má vynikající odolnost proti vysoké teplotě, odolnost vůči korozi a oxidační odolnost proti oxidaci a může dlouho fungovat po dlouhou dobu ve vysokoteplotním a vakuovém prostředí. Tento podstavec se široce používá v MOCVD, PECVD, PVD a dalších zařízeních pro podporu zpracování a manipulace s oplatky a další vysoce přesné materiály.

Základní výhody:

● Stabilita s vysokou teplotou: Samotný grafit s vysokým čistotem má vynikající tepelnou stabilitu. Poté, co byl potažen povlakem SIC, vydrží extrémní prostředí s vyšší teplotou a je vhodná pro procesy s vysokou teplotou při zpracování polovodičů.

● Rohiontový odpor: CVD SIC povlak je odolný vůči korozi kyseliny a alkalií a může mít dlouhou životnost v procesu CVD.

● Vysoká hodolnost proti oxidu a oxidaci: CVD sic povlak má vynikající tvrdost, odolnost proti poškrábání a oxidační odolnost při vysokých teplotách, aby se udržela stabilita materiálu.

● Dobrá tepelná vodivost: Kombinace grafitového substrátu a CVD SiC Coating Susceptor způsobuje, že základna má vynikající tepelnou vodivost, která může účinně provádět teplo a zlepšit účinnost výroby.

Specifikace produktu:

● Materiál: Grafit Substrát + CVD SIC povlak

● Tloušťka povlaku: Lze přizpůsobit podle potřeb zákazníka

● Platné prostředí: Vysoká teplota, vakuum, korozivní prostředí plynu

Přizpůsobená služba:

Poskytujeme vysoce přizpůsobené služby tak, aby vyhovovaly potřebám různých zařízení a procesů zákazníků. Podle specifické aplikace zákazníka lze poskytnout grafitové základy s různými tloušťkami povlaku, povrchové ošetření a přesností.

Veteksemi vždy pracuje v průmyslu CVD Silicon Carbide Coating a má hlavní výrobu a výrobní úroveň výrobních základů v oboru. Pokud potřebujete více informací o produktu nebo přizpůsobené služby, kontaktujte prosím Vetek Semiconductor, z celého srdce vám poskytneme profesionální podporu.

Data SEM o CVD sic filmové krystalové struktury:

To polovodičCVD SIC Coating Graphite Susceptor Product Shops: