Zprávy

Tento článek představuje nejnovější vývoj nově navrženého horkostěnného CVD reaktoru PE1O8 italské společnosti LPE a jeho schopnost provádět rovnoměrnou 4H-SiC epitaxi na 200 mm SiC.

S rostoucí poptávkou po SiC materiálech ve výkonové elektronice, optoelektronice a dalších oborech se vývoj technologie růstu monokrystalů SiC stane klíčovou oblastí vědeckých a technologických inovací. Jako jádro zařízení pro růst monokrystalů SiC bude návrhu tepelného pole nadále věnována rozsáhlá pozornost a hloubkový výzkum.

Díky neustálému technologickému pokroku a hloubkovému výzkumu mechanismů se očekává, že heteroepitaxní technologie 3C-SiC bude hrát důležitější roli v polovodičovém průmyslu a bude podporovat vývoj vysoce účinných elektronických zařízení.